快科技5月10日音信文昌塑料挤出机，近日，则"上海微电子28nm浸没式DUV光刻机完成批批量托付"的音信刷屏半体圈。

对此，芯智讯发布著述辟谣，直指该音信存在多处严重事实乖张。

著述先质疑了报说念的信源问题。该报说念仅以"据报说念"暧昧其辞，莫得说起任何具体的起首，这关于光刻机这么的要紧科技新闻来说，彰着贫穷基本的严肃。

报说念宣称"2026年1月，上海微电子在长三角半体产业峰会前次官宣SSA800系列扫尾量产"。但访谒发现，这个所谓的“长三角半体产业峰会”莫得任何媒体报说念，查不到举办时候、场合、主理等任何基本信息。上海微电子官也从未发布过辩论公告。网上所辩论于该峰会的内容，沿途王人是与"上海微电子官宣量产"绑定的自媒体通稿。

另个伪善说法是"2026年3月SEMICONChina展会上，上海微电子次公开展示了SSA800样机"。芯智讯记者明确默示，我方其时就在展会现场，上海微电子的展台上根底莫得这款斥地。展会时间及扫尾后，也莫得任何正规媒体报说念过此事。

离谱的是"量产良率90~95"的说法。位光刻机厂商里面东说念主士直言："这是假音信文昌塑料挤出机，光刻机那里来的良率。"光刻机是坐褥芯片的斥地，自身不存在"良率"这标的。

即便指的是用它坐褥芯片的良率，这个数字也过于夸张。要知说念台积电28nm工艺2011年量产后，直到2012年8月良率才免强过80。

位国内晶圆代工场东说念主士暴露，塑料管材设备现在SSA800系列并未参预任何生意化晶圆厂，仍然在集成电路研发中心（ICRD）进行测造就证。所谓的"批批量托付"和"量产工艺考据"均与事实不符。

据了解，SSA800实质上便是近几年商场直听说的国产“28nm光刻机”，是款193nmArF浸没式光刻机，套刻精度扫尾在2.3~2.5nm，每小时可贬责150片晶圆，对标的是ASML TWINSCAN NXT:1950i。后者的用卡盘套刻精度为2.5nm，混匹配套刻精度为3.5nm，每小时可贬责200片晶圆。

著述后默示，期盼国产光刻机破碎是每个东说念主的朴素心理，但越是渴慕，越应该守住理底线。的"放卫星"不仅会误公众，还会结巴产业链结识攻坚的严肃。

果真的时期解围，从来不需要靠炒作来阐发注解我方。

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包袱剪辑：朝日

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